二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak #9275382 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,用于从小到大晶圆规模精密加工半导体和光学元件。加工过程采用金刚石镀圈、抛光头和浆料，提供精确、可重复的性能。AMAT Mirra Ontrak由Applied Material和Mirra联合开发技术。它利用获得专利的Mirra DryClean Technology保持工艺环境干燥和清洁。该技术不需要板锯和化学蚀刻化学品，也不需要在工艺步骤结束时进行可选的浆液清洗。该系统采用全封闭式操作,可确保无灰尘环境以及高度自动化的参数,从而允许跨4英寸到200毫米的多个晶圆大小进行高吞吐量处理。也可用于加工蓝宝石、石英等硬质材料。机器中使用的高级控制单元允许精确的自动参数设置,并对研磨质量、抛光参数、进料速率和晶圆水平进行多轴运动控制。这样就可以轻松地为特定应用程序选择最佳的流程周期,并对每个流程步骤进行精确调整。APPLICED MATERIALS Mirra Ontrak配备了高精度伺服电动机驱动器和多轴控制装置,可实现均匀的光洁度、光滑的表面以及部分零件操作的近乎完美的可重复性。该机有6站索引、集成晶片压力机和晶片夹紧机。这允许与其他工艺设备完全集成，使其成为从稀释到抛光的全流量处理的理想选择。这台机器配备了直观的触摸屏用户界面和强大的可视化工具,可以轻松设置和控制复杂的研磨周期和过程。此外,集成表面分析工具还提供了有关表面微观结构和质量的详细分析。总体而言，Mirra Ontrak是一个精密的自动化加工资产，用于从小到大晶圆规模的半导体和光学元件的精磨、研磨和抛光。通过集成的控制模型和先进的自动化，确保了可重复的性能和高精度的加工。该设备是从稀释到抛光全流量处理的理想选择。