二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Standalone #9313449 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Standalone是一种高度自动化的设备,设计用于精密晶圆研磨、研磨和抛光。该系统包括晶圆研磨和抛光的精密级；晶圆研磨的COREBA级；以及晶圆吞吐量的Apex阶段。精密级可以精确、自动研磨和抛光尺寸达200毫米的晶片。它具有预先编程的配方，可重复和可靠的抛光结果。该装置采用可重复运动和压力控制，采用集成视觉检测机，以确保完美抛光。COREBA级是一种自动化的两步晶圆研磨工具,适用于尺寸不超过200 mm的晶圆。它有一个独特的中心真空设计，允许晶片与可变的力进行研磨。它包括用于处理不同晶圆尺寸的多个研磨板，确保晶圆的平整度和圆度。Apex阶段是一个集成的晶圆吞吐量资产。它利用多种机器人技术，识别和对准晶片的视觉模型，以及模具连接能力。这样可以通过设备精确处理多个晶片。整个系统设计精确度和可重复性。高精度运动控制确保晶片以一致和可重复的方式进行处理，从而获得高质量的结果。该单元还包括错误报告和紧急情况下自动关闭等多种安全功能。总而言之，AMAT Mirra Standalone是晶圆研磨、研磨、抛光的先进机器。它具有每个操作的多个阶段,均具有精确的运动控制和集成的视觉系统。它还包括安全特性和多种机器人技术的精密晶圆吞吐量.