二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Track #9223509 待售
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ID: 9223509
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
CMP System, 8"
Process: PCUD
System controller
Main system:
Polisher
Ontrak cleaner
FABS Cassette system
Missing / Faulty parts:
Pneutronic board
(2) Slip rings
Analog board
Cross motor
CPU: Pentium III 400 MHz
Dual RAID hard disk
Hard disk size: 68 GB
RAM: 128 MB
Hardware:
Polisher with controller: Mirra 3400 / 5201
Cleaner: Ontrak
Indexer: RORZE FABS
Slurry (P1+P2+P3): AB
Endpoint laser P1: IScan
Endpoint laser P2: FullScan
Polisher middle skins: P1 & P3 Dark skin, P2 clear skin
No chiller
Com port server: Digi EL160
Cleaner brush LDM: LDM With entegris flow sensors
Slurry in CLC
Slurry arm: (4) Lines
Polishing head: Titan I
Rotary union: (3) Ports
Cross type: Cattrack
Cassette slot run order (From slot 1 down to 25)
Platen teflon coated
Pad conditioner type: UNIVERSAL
Retainer ring type: AEP II
Membrane type: Silicone membrane
PC Diaphragm: DDF3 Diaphragm
Brush with core type: MYKROLIS Ontrak brush
Upgrade / CIP Retrofit details:
LLA Guide pin: Self align
PM Reduction kit: Partial
UPA: Waterfall
No splash guard
Exhaust blower
Magnehelic pressure low level detection kit
SRD Exhaust interlock
Queue tub
Blackout covers
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Track是为半导体及相关行业设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统旨在在高生产速度下提供卓越的表面平整度和表面缺陷减小。此单元的多功能性使其能够处理多个晶圆配置和大小。AMAT Mirra Track的主要部件包括多叶片涂层晶片托架、无钥匙环钳、无钥匙、多端口对准机和表面平坦度计量工具。涂层晶片托架设计用于将多个晶片牢固地固定在正确的方向，以确保最大程度的平整度和缺陷减少。无钥匙环钳确保适当的晶圆安装和摆动。多端口对齐资产允许单次或分批手动和自动对齐晶片，而表面平坦度计量模型则允许直接测量表面平坦度。该设备能够研磨、研磨和抛光射程高达25毫米的晶片。这可以通过使用不同的砂砾尺寸和抛光垫来实现，允许使用广泛的工艺配方。该系统还可以编程为全自动闭环操作，用户直接控制流程配方和参数。这允许用户自定义特定应用程序的晶圆处理步骤。APPLIED MATERIALS Mirra Track的设计具有高级别的数据跟踪功能,包括事件日志记录、过程数据存储和远程软件诊断。这些功能使用户能够实时监控晶圆工艺质量和调整参数，以保持高水平的质量控制。总体而言,Mirra Track是一个通用单元,可用于多种不同的应用程序。其先进的特性和定制晶圆处理步骤的能力使其成为半导体及相关行业的宝贵资产。
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