二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9142627 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra
已售出
ID: 9142627
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
CMP Oxide systems, 8" 1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra是专门为半导体和光电应用而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。这一工艺对于制造先进、高性能的集成电路至关重要。AMAT Mirra系统能够高速、高精度地执行多个过程,从而提高产品的产量和整体质量。该单元的核心部件是研磨、研磨和抛光站。该站由磨料加工头和晶片卡盘两个独立的部件组成。磨料加工头是控制晶片研磨、研磨和抛光过程速率的元件。它为这些操作提供了必要的工具,这些工具是磨石和钻石垫。晶片卡盘是将晶片固定到位的机器的组件,允许在过程中对晶片进行精确的操作。它旨在在整个过程中为晶片提供安全、准确的定位。该工具还包括远景资产和流程监测模型。视力设备用于确保晶片在过程开始前正确对准,而过程监控系统则用于跟踪不同操作的进度并确保它们正确完成。APPLIED MATERIALS Mirra单元配备了数据采集和控制机器,可以方便地访问过程的结果。该工具还包括一个原位晶圆测试资产,用于测量过程中的各种参数。这样可以更准确地了解流程,并向操作员提供反馈。该模型设计为在高温环境下运行,设计用于腐蚀性材料。该设备效率高,利用各种技术减少了过程中使用的能量和材料。该系统还设计方便维护,可轻松更新升级,以跟上工业趋势和技术进步。总体而言,Mirra是一款可靠高效的晶圆研磨、研磨、抛光装置,提供高质量的效果。它专为高速、高精度的性能而设计,易于访问数据和可靠的过程监控机器。该工具还设计为减少能耗和浪费,非常易于维护。
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