二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9142631 待售

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra是为晶圆研磨、研磨、抛光等高精度表面整理应用而设计的全自动工作站。该设备特别适合制造集成电路、半导体、MEMS和先进光电器件等电子器件。AMAT Mirra系统为各种材料的生产规模表面整理提供了一个通用、精确、安全的平台。APPLIED MATERIALS Mirra单元配备了一个精密的运动平台，集成了一系列经过认证的过程组件，以提供更高水平的过程控制。此平台包括提供8轴运动控制、自动无传感器测量、自动晶圆定向以及大量高级过程控制功能的过程控制器。运动控制机允许用户精确定义和编程表面准备操作。该平台还包括高速研磨盘、研磨板、抛光片、晶圆架等一系列先进晶圆研磨抛光配件。该工具专为快速吞吐量而设计,可提供8英寸的最大晶圆尺寸和高达1000 rpm的高速磨头。该平台还包括一个集成的热管理资产，以帮助防止磨削和研磨操作期间的热损坏。该模型可以调节刀具表面和加工面积的温度，防止热失控，确保高质量的表面光洁度。Mirra还具有一系列提高安全性和用户舒适性的功能。内置的综合排气设备可捕获灰尘和其他空气中的微粒，并有助于维护工作站内的安全工作环境。保护窗罩允许用户监视操作,同时保持与研磨区域的安全距离。最后，该系统包括了一系列智能过程控制算法，不断监测和自动调整研磨操作，以保持最高水平的表面光洁度质量。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra是制造商需要可靠、高效和精确的表面整理平台的理想设备。它提供了控制和灵活性,可将过程微调至最高精度,并且其安全功能可实现安全高效的操作。该机专为快速吞吐量而设计，可处理多种材料，是工业或研究应用的理想选择。