二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9142634 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra是为晶圆基板的高效加工而开发的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统用于去除晶片表面的表面缺陷,以创建更耐用且无缺陷的表面。该装置具有高质量的主轴电机，用于驱动基材的研磨和抛光过程。它还包括一个集成的风冷烤箱，有助于均匀加热晶圆表面，使抛光磨料的最大用量得以使用，同时防止热损坏。该机器由高精度晶片卡盘和动力分配头组成，以确保晶片表面的重复性和一致性载荷和磨削。AMAT Mirra还具有精确可靠的真空晶片夹紧功能,能够更快地研磨、研磨和抛光晶片。获得专利的独特工艺可确保在尽可能短的时间内生产出质量最高的晶圆表面。该工艺结合了采用金刚石粉尘的多步研磨工艺和运动学研磨头，提供了优异的效果。该工具还具有全自动研磨资产，以促进高效操作。该模型采用5轴机器人平台，用于晶圆的自动研磨、研磨和抛光。这有助于减少人工处理晶片所需的时间,从而缩短处理时间并提高生产率。该设备采用最新工艺和控制技术进行设计，以确保晶圆表面质量最高。这包括用于过程控制的集成环路控制器,以及用于确保可重复性和一致性的高级配方管理系统。总之，APPLIED MATERIALS Mirra是一种晶圆研磨、研磨和抛光装置，设计用于高效、高质量的加工。该机具有高质量的主轴电机、烤箱、晶片卡盘、分配头、真空晶片夹紧等特点。它还利用多步研磨工艺和5轴机器人平台进行自动处理。最后，该工具还包括集成环路控制器和高级配方管理资产，以确保可重复性和一致性。