二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9160369 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra晶片研磨、研磨和抛光设备是一种最先进的自动化系统,旨在提供晶片表面的可控抛光,以提高半导体元件和组件的质量。该单元利用专有软件来控制超精密光子学元件和子组件的研磨、研磨和抛光过程。该机包括一个紧凑的控制柜来容纳整个过程，包括底板、动力控制单元、电动主轴底座、研磨级和抛光头。还有一个专用的压力控制工具，结合了用于精确研磨、研磨和抛光操作的闭环控制压力控制，以及用于精确过程控制的闭环反馈。该资产还包括一个强大的、可编程的数字伺服模型，以精确控制转速、扭矩和动力到主轴和研磨阶段，以及执行过程中研磨装置监控。AMAT Mirra能够提供200纳米的受控研磨，以及1.5纳米的贴近场研磨抛光。该设备非常适合进行生产质量测量，并且能够保持高质量零件的一致结果。由机器人控制的抛光头可达到晶圆表面的最佳生产精度和质量。这些晶片可以使用自动化加载程序和软件控制在操作人员的最少干预下进行加载和卸载。该系统用户友好，符合人体工程学，能够产生可重复的结果。该单元设计为提供优异的性能和较低的维护，周期时间与传统手动处理相同。该机还设计为符合OSHA安全标准。APPLIED MATERIALS Mirra具有模块化设计,允许在需要时添加其他组件。该工具还可以连接到其他AMAT晶圆处理系统，如APPLIED MATERIALS Mira III，用于更先进的晶圆研磨和抛光。该资产还与多个行业标准的光刻系统兼容，并与多个掩模生成系统兼容。整个过程高度自动化,可以精确控制。