二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9235104 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra是一种自动化晶圆研磨、研磨和抛光设备，用于半导体制造和先进材料生产。该系统利用精确控制的机器人机械手，可以从任何材料研磨、拉圈和抛光高精度晶片。该设备的功能允许提高吞吐量、提高产量和降低成本。该机设计用于快速准确地处理来自基材制造材料如硅等半导体、金刚石、玻璃、陶瓷等先进材料的晶片。该工具使用两个独立的机器人机械手-一个用于研磨和研磨，另一个用于抛光。每个机械手使用多个修剪头来精确地执行研磨和抛光任务,并在晶片上产生所需的表面光洁度。该资产提供了对研磨速度、圈压和抛光力的精确控制。它还能够对表面光洁度样品进行过程中的监测，以便在需要时采取实时的纠正措施。利用其闭环控制模型，AMAT Mirra能够提供准确、可重复的输出。APPLIED MATERIALS Mirra还提供了高度的灵活性。其机器人机械手可用于进行多种研磨和抛光操作（图1）。它可以处理直径可达500 mm的研磨/研磨，适用于晶片预清洁和晶片损伤修复等应用。抛光头可以向下到达晶圆的中心，从而使抛光过程得到最佳控制。该设备还使工程师能够根据所需的表面质量调整抛光工艺的攻击性。此外,该系统还具有多种安全功能,可确保操作员的安全。该单元还包括带有语音提示声音警告机的安全面板。这样可以防止意外接触暴露的区域,并提供任何进程错误的可视警告。Mirra有助于减少加工时间、提高产量和降低生产成本,使其成为研磨、研磨和抛光晶片的理想选择。它旨在满足当今先进材料生产和半导体工艺的苛刻要求。