二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9241773 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra设备是一种高度先进的晶圆研磨、研磨和抛光工具,旨在帮助半导体和微电子制造商实现精确的表面制备和完美的平整度。该系统利用精密电机控制、动态力反馈、超低振动性能和真空晶片卡盘，最大限度地提高精度和可重复性。该装置设有一个大的加工窗口，允许晶片尺寸达到直径200毫米，能够处理多种晶片类型，如标准级硅、石英和熔融二氧化硅。其专有的力反馈技术能够对工艺进行主动控制,并能在5-10 nm左右精确地进行表面制备。这是通过其创新的动态研磨选项实现的，该选项可降低研磨力，提高轮廓均匀性和提高工艺吞吐量。AMAT Mirra机适用于金属和介电膜平面化、晶圆变薄、绝缘子硅（SOI）等先进IC结构研磨等多种应用。该工具有多种可用的研磨选项，从粗磨到更精细的研磨工艺，如摆动研磨。APPLICED MATERIALS Mirra资产还提供了一些专门的工具，如车轮和压板清洁剂、除尘系统、特殊的高精度晶片卡盘，以及额外的光学和干涉测量选项，用于过程监测和控制。高度自动化的模型提供了对研磨过程的灵活性和精确控制,允许各种选项,如集成晶片卡盘、可调框架力、可调板压、电机控制和自动研磨循环控制。此外，设备的实时物料去除率监测和滑移控制消除了工艺工件。综上所述，Mirra系统是精密晶圆研磨、研磨和抛光应用的可靠且功能丰富的工具。可利用其自动作用力和压力反馈能力、实时物料去除率监测、自动研磨循环控制等实现高精度表面制备。这一先进的设备比传统方法有了很大的改进，使其成为半导体和微电子制造商的宝贵工具。