二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9256808 待售

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ID: 9256808
晶圆大小: 8"
CMP System, parts machine, 8" SECS / GEM Main frame Delivery slurry arm and pump Transfer cross base Polish upper platen Polish platen gear box System controller: Backside PCB board Controller down force: AB Board Inter platen Clean cup Breakers Monitor Damaged parts: (3) Lower platens (12) Cover scraps (6) I/O and interlock boards (3) Platen drivers and motors (4) UPA Rotations (4) NSK Motors (4) Spindles (12) UPA Regulators (6) MEI Boards (6) CPU Boards (6) PC Assembly retrofit ML (4) Heads HCLU Fabs relative part Cables DIW Mainfold retrofit ML DC Power supply Wet robot.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra是晶圆研磨、研磨和抛光设备,在晶圆加工周期中提供最高精度、精度和均匀性。该系统可以容纳尺寸从300毫米到150毫米不等的基板,几乎可以处理任何类型的材料。它具有先进的自动化运动单元,旨在减少基板和工艺的可变性,同时提高吞吐量。AMAT Mirra机配备了精密的晶圆抛光头,减少了潜在的抛光磨料的可变性,无论基材取向如何提供一致的抛光结果。该工具还配备了闭环压力和速度控制资产。这一特性有助于消除基材和工艺变化的可能性,同时提供均匀的抛光结果。该模型的先进运动控制平台设计精密操纵晶片载体在抛光垫上,从而实现最佳的过程控制。APPLICED MATERIALS Mirra设备可用于处理包括硅胶、SiN、SiO2在内的多层膜型层。该系统具有获得专利的独立晶圆载波单元,可实现多个同时处理周期。此功能消除了手动处理工资的需要,并大大减少了停机时间。Mirra机也可用于进行边圆、切块、研磨和变薄操作。所有操作都是通过工具的高级控制组件实现的。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra的全自动资产消除了对体力劳动的需求,提高了效率和生产率。此外,该模型还具有直观的图形用户界面,可简化设备的设置和使用。界面允许用户监控系统,并在整个处理周期内进行必要的调整。区域和速度控制单元等安全功能还提供额外的保护,确保操作员在安全的环境中工作。总体而言,AMAT Mirra机器是一种功能强大、可靠、高效的晶圆加工工具。作为一种综合性的、合一的资产,它为用户提供了以高度准确和统一的结果生产组件的能力,而无需人工劳动。它直观的图形用户界面和速度控制功能提供额外的安心和安全。利用APPLIED MATERIALS Mirra模型,用户可以利用简单明了的方法在晶圆处理周期中实现高精度和高精度。
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