二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9264177 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra晶圆研磨、研磨和抛光设备是专门为半导体制造工艺设计的专用主力。该机采用集成、用户友好的控制系统，先进的微观结构设计提供了优异的抛光、研磨和研磨效果，其最先进的设计提供了卓越的冲孔可重复性和表面光洁性。AMAT Mirra包含了一系列专门为每个应用程序设计的抛光工具。这些工具有效地研磨和抛光半导体基板，并且可以在包括氧化硅、氮化的和相关材料在内的多种材料上操作。该机器能够产生极其平坦的表面饰面，确保基板几乎是完美的平面。它有一个水平面表，以确保一致的表面光洁度和灵活性，以适应不同的基板尺寸。它的多个平整校正传感器在研磨过程中测量一个表面的平整度，允许精确的平整度控制和可重复性。自动装置可以编程，以确保重复研磨，研磨和抛光过程具有相同的结果。其先进的自动化提供了显着的流程产量改进。APPLIED MATERIALS Mirra包含一台高级工艺控制机器,该机器可精确控制机器参数并监控过程中的温度、压力和材料去除速率。自动化刀具将工艺时间缩短50%以上,有助于降低材料成本。资产还提供实时流程监控，允许流程优化和减少浪费。机器的CnC控制器允许精确的零件定位和可重复性。其集成CCD模型可确保精确测量和易于测量。该设备还提供自动边缘检测功能,可实现无与伦比的定位精度。其他功能包括高级CnC系统、精密工具支架和触摸屏用户界面。Mirra在研磨、研磨和抛光操作方面提供了尖端的精度和可重复性。利用其最先进的技术和先进的工艺控制单元，确保了半导体制造工艺基板的卓越质量和表面光洁度。