二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9293685 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra是专门为半导体应用而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。AMAT Mirra能够实现超精密表面饰面和用于研发和生产目的的基板的精确形状控制。APPLICED MATERIALS Mirra配备了先进的湿磨削和抛光工艺,通过生产针对CMP工艺中的门氧化物生长进行优化的优越表面光洁度,减少了对后抛光的需求。独特的"墙塞"磨削控制系统，旨在减少磨削时基板打滑，导致更高的均匀性，提高晶圆平整度。Mirra还包括一个高合规性、低负载的机械化晶片夹紧单元，旨在改善步长控制。这台机器有助于减少额外研磨过程的必要性，并最大限度地减少颗粒和表面刮擦的可能性。该工具还包括用于在加工站之间传输晶片的机器人晶片处理资产。这样可以提高操作员的安全性,并能够准确跟踪生产和过程数据。该模型还采用了先进的原位洗涤和冲洗工艺，以实现高水平的污染控制和延长工作寿命的自动化维护程序。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra的设计满足了半导体、MEMS和薄膜器件制造的严格工艺要求。它提供了高度的流程可重复性、广泛的流程温度范围和集成的流程监控功能。该设备还设计用于促进高效和安全的操作,占地面积很小,可轻松融入工厂自动化环境。AMAT Mirra还配备了多语言操作员界面、直观的系统导航和易于使用的图形流程配方创建者。综上所述，APPLIED MATERIALS Mirra是一款先进的晶圆研磨、研磨和抛光装置，旨在满足半导体、MEMS和薄膜器件制造的严格要求。它的独特功能,如墙塞磨削控制、机械化晶片夹紧、机器人晶片处理、高级洗涤和冲洗工艺,以及自动维护例程,有助于在广泛的温度范围内提供准确和统一的结果。