二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #293625723 待售
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ID: 293625723
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
CMP System, 12"
Wafer shape: Notch
(3) Load ports, 8"
Dry in/dry out system
Clear type skin
MESA Cleaner type
Operator interface: FI Load port 4
Heater lamp
Polisher options:
Profiler head
4-Port Upper Pneumatics Assembly (UPA)
Dark pad sensor
KAWASAKI Wet robot
(2) Slurries pump type
Slurry dispense arm: Fixed
Platen configuration (1, 2, 3):
Platen type: PFA Coater platen
Platen pad: IC 1010
Platen pad conditioner: Screw-type disc
Cleaner options:
MEGASONIC Tank
Type: Pressurized
Scrubber module for 1 and 2:
Brush type: Texwipe PVA
Delivery type: Pressurized low flow
Upper E84 Senor and cable
KAWASAKI Single arm track robot
Standard load port: Operator interface
Load port: (25) Enhanced wafers FOUP
Facilities options:
Line voltage: 200-300 V
Line frequency: 50/60 Hz
GFCI: 30 mA
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600是先进的晶圆研磨、研磨、抛光系统。这台机器设计用于处理半导体晶片、MEMS元件、纳米级器件等精细材料，精度极高。其设计还允许对工艺参数进行精确控制，以获得最佳性能。AMAT Reflexion 3600利用滑水技术实现了晶圆和其他硬质材料的高质量表面光洁度和均匀性。水上飞机平台允许工件与研磨、研磨、抛光垫连续接触。这有助于最小化表面变色并减少处理时间。该机器包括一个具有自动停止功能的旋转工作台。这使用户能够根据需要准确控制去除或引入过程的物料数量。工作人员还配备了内置的后侧空气系统。这有助于减少变形和振动,从而产生准确、可重复的过程结果。APPLIED MATERIALS Reflexion 3600设计为每个晶圆的快速过程周期时间小于10分钟,使用户能够快速实现所需的结果。机器还包括一个易于使用，直观的用户界面，帮助使设置和操作简单。Reflexion 3600还具有多轴运动平台，用于精确的背面研磨和研磨。它还包括一个前端环境外壳，旨在保护系统免受可处理的污染。此外，该机标配了一系列传感器和安全功能。这包括多轴碰撞检测、防滑安全特征和振动保护。总体而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Reflexion 3600是一台功能强大、可靠且准确的机器,旨在帮助用户实现精细材料的最高工艺精度。其精巧的设计使用户能够快速高效地实现其期望的结果。
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