二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9223700 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600是为研发和半导体制造而设计的先进晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统采用独特的抛光方法，能够产生非常精确和统一的结果。该单元包括一个带有悬臂悬挂的压力控制抛光头，由智能测量机包围，提供抛光过程的反馈。AMAT Reflexion 3600由一个悬挂式抛光头和一个模块化的压板组成，可以调整以适应不同的晶圆尺寸。抛光头包括悬臂悬挂工具，由自动压力换能器启动，无论晶圆厚度如何，都允许精确均匀的抛光。获得专利的模块化压板能够对晶圆的抛光表面进行精确的规范。它也是可调的，以适应不同的晶圆尺寸，从大模具到小尺寸的基板。此外,该资产还配备了一个自动压力控制传感器,可在抛光过程中读取和响应接触压力的任何变化。这允许对各种晶圆类型的工艺参数进行自适应调整，如GaAs、Si、SiC和GaN。它还具有可调抛光速度和反馈模型，控制压板速度，以保持一个统一的结果。此外,APPLIED MATERIALS Reflexion 3600还拥有先进的机器人装载设备。这允许自动加载、部件传输和过程监视。该系统还具有内置诊断程序,可帮助用户检测和诊断设备问题。对于最高的抛光质量标准,Reflexion 3600包括一台独特的成像机,可捕获抛光前后基板的高分辨率图像。这允许直接比较和改进过程。它还将这些结果存储在一个安全的数据库中,以确保数据安全地传输给其他部门和人员。总体而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Reflexion 3600是一种功能强大、精确、高效的晶圆研磨、研磨和抛光工具,设计用于各种SEMI标准基板。其特点使其成为研发和半导体制造应用的绝佳选择。