二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9223702 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600是一种最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于在各种基板上生产光学平坦光滑的表面。其专利工艺利用专门设计的金刚石研磨/研磨石材将晶片的表面研磨成所需的粗糙度。晶圆研磨后采用多环抛光工艺，达到所需的光学质量。AMAT Reflexion 3600由一个紧凑但功能丰富的真空室组成，配备了最新的机器人和自动化技术。这允许更高的吞吐量和灵活性,以适应不同的产品、基材和尺寸。它配备了单晶片输入和输出技术以及多达18种不同基板的自动装卸。该工艺的抛光步骤是使用金刚石加固滑轮完成的，该滑轮驱动晶圆靠着精密液压夹具。这样可以确保最佳的均匀性和对抛光工艺的控制。此外,系统还包含一个闭环自动压力控制（CLAPC）模块,用于监控抛光过程中施加到晶圆上的压力,从而对结果进行精确控制。APPLIED MATERIALS Reflexion 3600的精密过程控制器提供了操作的完全自动化，并具有易于使用的图形界面。这使得存储和召回配方、设置策略、检测异常和微调过程参数变得简单。此外,它还提供对研磨和抛光工艺的实时监控,以及一套工艺诊断和错误代码,使操作员能够评估工艺在任何批次上的有效性。Reflexion 3600还设计用于确保安全和清洁的环境,因为它是完全封闭的,并使用安全壳装袋装置来保持腔室及其部件的清洁和无颗粒。此外，机器包括一个强大的真空工具，以清除空气中的任何污染物颗粒。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600是一种高效、可靠的精密研磨和抛光晶片的资产。其精确的过程控制、自动化的功能和强大的安全功能使其非常适合各种应用程序。