二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9223735 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备，用于处理半导体晶圆。AMAT Reflexion 3600专为优化吞吐量、灵活性和精度而设计。它采用紧凑的开放式足迹设计,为用户提供最大的可访问性,同时允许与自动化处理系统集成。APPLICED MATERIALS Reflexion 3600具有坚固可靠的磁悬浮直线电动机，提供高精度的定位和移动，使得晶圆定位精度和可重复性超过10 μ m。它还有两个独立控制的研磨/抛光头，以容纳直径达200毫米的晶片，最大转速为300 rpm。Reflexion 3600还包括一个真空辅助的"拖船"系统和一个可编程的横头，允许使用Z轴高度控制快速装卸。该装置还具有晶圆主轴的三维定位以及安装硬件和渐进工艺功率曲线，以便在各种加工条件下获得最佳效果。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600设计用于安全和方便用户的操作。它具有一个可以通过液晶触摸屏显示屏进行调整的控制机器，具有广泛的参数，如RPM、扭矩、上移/下移、晶圆清洗、真空水平和自动分离。该工具还具有直观的用户界面，设计为高度用户友好和直观，使操作员能够快速准确地编程和执行流程。AMAT Reflexion 3600是半导体制造和其他需要精确研磨和抛光工艺的应用的理想选择。其高度精确的定位和可重复性,加上自动化的过程和用户友好的控制,使APPLIED MATERIALS Reflexion 3600成为实现理想结果的可靠解决方桉。