二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion Desica #9293597 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion Desica是一种创新的晶圆研磨、研磨和抛光设备,可精确控制材料的表面曲率和光洁度。该系统设计用于直径不超过200毫米的材料的非接触磨削、研磨和抛光。它采用6轴机动化定位级,具有较高的位置重复性和分辨率,以确保每个工件都具有一致的光洁度,且每个工件之间的变化最小。AMAT Reflexion Desica由一系列组件组成，全部设计为和谐协同工作。主要部件是支持6轴定位的高分辨率磨床/磨床,可实现振动和旋转运动。支持磨床/磨床的框架组件,以及用于精确结果定位的附加X和Y定位级,以及带有轴承预紧力控制的主轴组件。一个泥浆储层、一个抛光级和一个空气补偿模块是单元的其他组成部分。整机采用灵活直观的图形用户界面进行高级过程控制。用户界面简化了复杂的操作，方便了磨削和抛光过程的调整。可以通过同一接口远程监控和控制流程的每个步骤，实时显示和记录收集到的数据。APPLICED MATERIALS Reflexion Desica还具有一个互锁工具,该工具允许使用预先编程的过程配方,而只需最少的手动干预。Reflexion Desica的设计考虑了精确度，具有精密研磨和抛光材料的能力。研磨抛光工艺可以使用智能图形用户界面进行高精度监控，客户可以放心的是，以最高精度的工艺控制，最终产品将在所有片断上保持一致。最后,针对生产环境中的可重复性和高吞吐量设计了该资产。AMAT/APPLIED Materials Reflexion Desica具有较高的重复性系数，可根据用户定义的工艺参数产生优化的结果。