二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Copper #293652092 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK铜片研磨、研磨及抛光设备是一种多用途晶片处理系统，非常适合研磨贴合阳离子。它被设计为能够在计量、变薄和金属化加工之前对基板进行研磨、研磨和抛光的过程。该装置能够生产高质量、高精细的基板表面。AMAT Reflexion LK Copper是一种采用步进电机驱动速度控制的5室或6室机器。这使得该工具在研磨、研磨和抛光晶片时能够达到很高的准确性和可重复性。该资产允许快速修改流程参数,从而确保优化流程以满足所需应用程序的规范。此外，该模型能够在整个研磨和抛光过程中实现动力、力和压力的控制。APPLICED MATERIALS Reflexion LK Copper设备配备了可变压力和温度控制系统。这使得该单元能够精确调节压力力、研磨速度、泥浆温度和表观压力，而不考虑晶圆材料的类型。机器能够在所有加工区域产生均匀的研磨条件，从而提高加工速度、精度和可重复性。Reflexion LK Copper还结合了一系列独立的工艺电机，实现了高度的灵活性和工艺参数的定制。电动机和电动机/浆液罐之间的间距是可调的，使工具能够最适合于不同类型的晶圆材料。此外，该资产还配备了内置液体和空气过滤模型，确保磨料浆料快速过滤且不受干扰。最后,AMAT/APPLICED MATERIALS Reflexion LK Copper包括触摸屏用户界面和全面的内置食谱库,使用户能够配置和存储流程数据,以便根据需要优化流程周期。此外，设备还可与各种计量仪器相结合，便于进行准确和完整的过程分析。综上所述，AMAT Reflexion LK铜片研磨研磨抛光系统为晶片研磨、研磨和抛光等磨料应用提供了一个极好的平台。它结合了高精度、灵活性和用户友好的用户界面,确保了成功的流程结果。