二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Copper #293802361 待售

AMAT （APPLICED MATERIALS） Reflexion LK Cupper是晶圆研磨、研磨和抛光的全循环设备，设计用于生产复合半导体材料如3D常规和3D集成电路。该系统包括生产这种复杂结构所必需的一系列组件，这些组件对于各种工业需求都是必不可少的。首先,LK Copper采用自动晶片研磨机,能够精确研磨从150毫米到100毫米及以下各种晶片尺寸的边缘和表面。晶圆研磨机具有最大限度地减少污染和降低热暴露的特性,可实现高工艺重复性和可靠性,非常适合精加工复杂结构。接下来，LK Copper单元的研磨站是一个高品质的抛光解决方桉，为最佳性能而设计。该研磨站配备了先进的子孔径抛光技术，能够生产出符合严格平整度和粗糙度要求的表面。这样可以确保获得所需的表面光洁度,同时将热应力降至最低并确保最大吞吐量。最后,LK Copper的抛光站配备了一系列自动化工艺,可最大程度地减少表面缺陷水平并确保均匀的表面光洁度。这些工艺包括先进的平面化技术、化学机械抛光（CMP）和电化学机械抛光（ECMP）能力，以及其他先进技术。这些过程的结果是满足3D常规和3D集成电路要求的曲面,包括尺寸可达150 mm的晶片。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK铜片研磨、研磨和抛光机为复合半导体材料的制造提供了适合各种工业应用的集成解决方桉。该工具的组件专为精度和可靠性而设计,可实现高流程重复性和最大吞吐量。LK Copper生产的表面满足严格的平整和粗糙要求,从而确保结构完整性和尺寸稳定性。