二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK FI #293822113 待售

Reflexion LK是一种用于材料研究和生产的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统专为光刻、绝缘子硅（SOI）和非均质光电器件的研发和生产而设计。该机具有半导体级湿磨床和抛光机，提供精确的表面粗糙度和可预测的均匀性。它能够从微米磨削表面，将表面磨削到1 um，将表面抛光到0.1um。其高度可调的安装底座为批处理操作提供了灵活性，其机器人集成设计简化了自动化，消除了晶圆的手动处理。集成工艺温度控制器允许将晶圆温度精确控制在0.1°C以内，这对于提高精度和吞吐量至关重要。自动平衡功能可减少加工过程中的机器振动,而专有的操作工具可确保晶圆的精确定位和处理。AMAT Reflexion LK具有先进的计量能力，包括三维（3D）非接触面表征、自动缺陷检测和遏制以及线缘粗糙度测量。它有一个集成腔室映射单元，使用户能够准确跟踪晶圆批号、处理日期和顺序以及处理温度变化。该设备配备了自动门和关机系统等最先进的安全功能，以防止积尘、磨损和不安全条件。还提供自动机器清洗。APPLICED MATERIALS Reflexion LK是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光工具，适用于各种材料研究和生产任务。它提供对温度、表面均匀性、过程自动化、计量和安全性的精细控制的高精度表面制备。