二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide #293659314 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide
ID: 293659314
Dielectric CMP System.
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide是晶圆研磨、研磨、抛光设备。用于硅、砷化的大批量制造,以及其他基材,该系统非常适合半导体行业的平面化需求。LK氧化物的结构部件采用工业级金属和合金部件,如不锈钢,具有优异的耐腐蚀和防锈性能。这一设备能够在600°C的最高温度下运行,同时产生速度和精度都很高的YAG激光束。通过调整光束电压和电流来校准和调节光束的强度。LK Oxide除了结构妆外,还包括四个磨头和两个抛光/研磨板。它可以支撑直径不超过12英寸的研磨和抛光板。具有旋转板材的能力,机组可一次生产平整均匀抛光的基材,研磨机头配有预设的金刚石砂砾,可调整为指定砂砾,为多种材料生产合适的光洁度。LK氧化物利用机械臂技术将晶片从一个站转移到另一个站。这确保了机器的准确可靠的转移和过渡与最小晶圆断裂.此外,检疫站保护晶片在过程中免受额外的污染和降解。整个机器由一个叫做Reflexion Control Tool (RCS)的专有软件控制。RCS采用多种算法对激光束强度进行校准和控制,以达到最佳效果。它还允许用户保存自定义程序,以便于回忆以前的设置和参数。这种应用材料LK氧化物是为满足半导体行业先进的平面化需求而设计的高效可靠的资产。其工业级组件和先进软件提供了卓越的性能和精确度,并且极小地降低了晶圆断裂或污染的风险。
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