二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide #9292971 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide
已售出
ID: 9292971
Dielectric CMP system.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide equipment is a wafer grinding, lapping, and opulishing system which advanced technologies with user-friendly software for quich, pressible of wafer基材.该装置产生高长宽比、高均匀度晶片和具有优异电热性能的薄层。AMAT Reflexion LK氧化机由三个主要部件组成:涂层头、研磨/抛光头和研磨头。涂层头包含一个集成的真空室,用于精确沉积无定形氮化硅、二氧化硅和其他氧化层。研磨/抛光头的设计可提供多种基板的均匀抛光。它还包含一个两区支架,以方便同时抛光多种晶圆基板。最后,磨头包括一个磨盘,用于晶圆基板的高效磨削.这个圆盘能够从晶圆表面去除氧化硅和其他层。APPLICED MATERIALS Reflexion LK Oxide tool是专为产生具有超细层的晶片而设计的。它能够生产仅11 nm、均匀性优于1nm/cm2的纤维层。该资产还设计用于提供精确的平面化,而无需进行积极的研磨或抛光。这有助于防止晶片表面损坏,并确保晶片质量一致。为了保证晶片涂层的精度,Reflexion LK氧化物模型采用了先进的软件共分析技术。此扫描可加速产品开发,并确保从晶圆到晶圆的一致性。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Oxide设备非常适合要求苛刻的生产应用。其先进的技术、用户友好的软件和精确的平面化使得它成为生产复杂晶片基板的完美解决方桉。它提高了效率,改善了产品质量,降低了生产成本,从而实现了最大价值和成本节约。
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