二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Prime #293808181 待售
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ID: 293808181
优质的: 2017
Chemical Mechanical Polishing (CMP) System
Hard Disk Drive (HDD)
No polishing head
2017 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Prime是一种高性能晶圆研磨、研磨、抛光设备，用于从一般半导体制造到MEMS原型制作等多种应用。该系统具有优异的性能、准确性和灵活性,可用于高分辨率、低表面粗糙度的研磨、膝部和抛光晶片。利用先进技术，AMAT Reflexion LK Prime可以同时研磨、研磨和抛光晶片，以满足最严格的工艺要求。PLICED MATERIALS Reflexion LK Prime非常适合研发和生产,它配备了IR ALD单元,用于控制晶片在研磨过程中弯曲或弯曲的边缘。这台机器采用独特的基于臂、刚性和动态的研磨平台，允许加工宽达200毫米的晶片，并实现两个独立的研磨机构，旨在实现非常精细的抛光。此外，还提供了一个向下主轴压力传感器，以提供对施加到晶片表面的研磨力的稳定性和反馈。Reflexion LK Prime能够实现低表面粗糙度值和优越的边缘质量,具有无与伦比的可重复性。结合三轴机器人、先进的触摸传感工具，以及专用的机器视觉资产，模型流式处理作业，自动设定在理想速度下的正确定位。通过高敏度的压力调节和冷却液分配以及集成的过程控制软件实现了卓越的过程控制。先进的光学曲率测量设备确保了LK Prime操作的精确晶圆弓测量，从而实现了光学平坦表面。此外，该系统采用集成晶圆曲率测量技术测量晶圆在研磨过程中的曲率，从而实现了材料去除的精确控制。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Prime采用了自上而下、基于晶圆级别的方法,有助于确保准确的过程控制。AMAT Reflexion LK Prime晶片研磨、研磨和抛光装置是需要卓越平面化、表面光洁度和边缘质量的应用的理想解决方桉。该机器由强大的服务团队提供支持,提供广泛的售后支持,以确保该工具提供持续的性能并满足各种应用程序的需求。
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