二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Reflexion LK #9283335 待售
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已售出
ID: 9283335
晶圆大小: 12"
优质的: 2012
Dielectric CMP system, 12"
Process: SIF, BPSG, Poly buff CMP
AMAT Reflexion LK:
(4) Heads
(3) Platen polishing systems
Dry in and dry out
Polisher skins
Gap wash
Load cup wafer exchanger
NOVA 3090 Next ready
(2) Monitors
Light tower
FOUP
WIP Delivery type
OHT Light curtain
E84 PI O Sensors and cables
E99 Carrier ID
Docked E99 reading capability
Docking flange shield
Frame configuration
Load ports
Load port operator interface
Operator access switch
Platen type
High pressure rinse flow meter
Rinse arms
Platen pad conditioner
Flow meter
Polishing technology
Polishing head
Cross break
Pad wafer loss sensor
Inter platen clean
Upper pneumatics assembly
ISRM Laser key switch
Slurry delivery system
Power cable (Head 1, Head 2, Head 3, Head 4)
Encoder cable (Head 1, Head 2, Head 3, Head 4)
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2012 vintage.
AMAT是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在为各种应用提供卓越的效果。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Reflexion LK系统提供了许多优点,使其非常适合生产级工艺。它有一个坚固的平台，能够处理直径达300毫米的晶片，最多有八个研磨/研磨/抛光头。此配置可提供高吞吐量和多功能性,使设备能够容纳各种应用程序。此外，AMAT Reflexion LK还配备了先进的闭环过程控制技术，确保精度结果。该机床的变速交流主轴电机进一步补充了这一精度,该电机允许在均匀材料磨损的情况下控制材料的去除速率。应用材料REFLEXION LK Reflexion LK还具有多种夹紧机构,使其非常适合各种工件。这包括一个获得专利的用于容纳平面基板的风蜡传递夹具，以及流行的用于直径达200毫米的圆形晶片的5点夹具。Reflexion LK的其他功能还包括一个创新的模块化变速箱,它允许轻松进行头部配置、升级和可维护性。该机还配备了集成的机器健康监测和诊断，提供了高水平的操作员能见度。而且,Reflexion的设计允许各种清洁过程,包括自动颗粒物清洗和化学/气体清洗。总而言之,应用材料AMAT/应用材料Reflexion LK Reflexion LK提供了强大的性能,旨在以可重复性和精确度提供卓越的效果。该工具的高科技编程、强大的设计和广泛的夹紧选项使其非常适合各种过程。AMAT Reflexion LK凭借其先进的工艺控制和集成的诊断/维护功能,为一系列晶圆研磨、研磨和抛光应用提供了完美的解决方桉。
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