二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK #293596541 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK
ID: 293596541
CMP Systems Process: Poly/STI.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK晶片研磨、研磨和抛光设备的设计使半导体和复合材料晶片加工具有最高的精度、最高的质量和最高的通量。LK系统是一种模块化和可扩展的工具,可以定制以满足特定的应用,并提供广泛的加工功能,包括后磨、精密研磨和超精密加工抛光以及亚微米表面光洁度。AMAT Reflexion LK单元是一种精密机器,利用静力、制导切削和流体分配技术相结合,减少材料去除时间,实现晶圆的高精度加工。该机包括一个先进的数控与集成材料监控工具,以确保一致的过程结果。控制单元提供了一系列可根据应用程序和结果进行调整的过程参数。集成流体输送资产可确保过程中流体的受控分配。APPLICED MATERIALS Reflexion LK模型具有多种特点,便于高分辨率研磨和抛光操作。这包括先进的表面研磨和抛光头,它提供了一系列的选项,如金刚石粘贴,抛光垫和晶圆载体。该设备还具有一个获得专利的静力悬浮垫,可将每个晶片牢固地固定在原位,从而消除操作过程中的滑动,并确保所有应用中的表面光洁度一致。Reflexion LK系统还提供了一系列选项,例如高压冷却、Wi-Fi监控、高精度晶圆调整以及各种其他功能,这些功能可以进一步提高研磨和抛光操作的工艺和准确性。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK是一种可靠、高效的晶圆研磨、研磨和抛光装置,经过开发,达到了半导体和复合材料加工的精度、质量和吞吐量的最高标准。该工具具有模块化和可扩展的设计,具有一系列流程参数和流程功能,可以完全定制以满足特定的应用需求。其先进的数控和集成材料监测机确保了晶圆的一致加工结果和高精度加工。其获得专利的静力悬浮垫工具进一步提高了所有应用程序的准确性和精确度,而且其广泛的选项确保了整个过程的最佳性能。
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