二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK #293807807 待售
网址复制成功!
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK是一种专利的、最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在为基板-金属、基板-半导体和其他半导体应用生产最优质的键接口。该系统为各种晶圆尺寸、形状和材料提供了最大的精度,使其成为纳米级晶圆制造的理想选择。AMAT Reflexion LK利用独一无二的三轴金刚石刀具定位单元,精确研磨、搭接和抛光直径达4英寸的小晶片。这种精密机器减少了不希望的切削力,从而提高了产量和质量.研磨和抛光循环受到严格控制,压力、转速和温度都受到严密监控。这样可以精确控制过程中去除或添加的物料的数量。利用原位激光测量仪进一步提高了该工具的精度。这样可以实时测量和控制物料清除过程,确保过程的均匀性并提高资产准确性。此外,模型中的准直器可确保较小的光斑尺寸,从而提供更高的均匀性和准确性。晶圆研磨、研磨和抛光循环可以有选择地扩展到包括后处理步骤,如化学机械抛光(CMP)。CMP工艺进一步提高了晶片的精度,提高了精度和表面平整度,提高了晶片与晶片的均匀性。APPLICED MATERIALS Reflexion LK是在模块化平台上开发的,使其具有极大的用途和适应性,适用于广泛的晶圆制造应用。该设备可配备多个可选组件,如光学检测系统、高Q(长度稳定性)单元,以及用于平滑物料处理过程的自动装载机。总之,Reflexion LK是一种提供精确3轴金刚石刀具定位的顶级磨削、研磨和抛光机。该工具在各种晶圆应用中提供均匀性、准确性和精确度。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK具有激光测量和CMP等先进特性,可确保晶圆质量和均匀性,提高产量并缩短上市时间。
还没有评论