二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK #9351487 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK是一种用于半导体和光学制造的基板的高精度研磨、研磨和抛光设备。该系统使用户能够以极高的精度和可重复性执行处理操作。它具有桥接式配置,允许并行晶片处理和统一处理。此外,该平台还利用具有机器人单元的专有工艺单元设计来加载晶片,并提供高精度的研磨和研磨结果。机器操作方式是将晶片沿研磨运动方向旋转，并使用振动和压力传感器将数据传输到计算机控制的研磨和研磨头。AMAT Reflexion LK有多个工具元件，包括研磨和研磨头、晶片卡盘、自动化晶片处理资产、视觉模型、边缘传感器和机器人设备。磨头和磨头由磨台、马达和磨石组成。内置视觉系统使用线扫描相机来检测晶片并将其与研磨头对齐。这是由边缘传感器支持的，该传感器测量晶片在每次研磨和研磨过程后的表面质量。机器人单元用于将基板从晶片卡盘移动到研磨台，反之亦然。该机采用现场测控工具，连续提供反馈，实时监控和调整工艺参数。此外,该资产具有高度的准确性和可重复性,使用户能够以最小的人工干预获得一致的结果。这是通过自动晶片处理模型和晶片卡盘实现的，其设计目的是将操作员处理的效果降至最低。APPLICED MATERIALS Reflexion LK也有几个安全特性，例如用于控制研磨和研磨压力和压力以及振动监测的传感器。最后，这种设备包括软件包和用户友好界面，允许用户控制和分析每个研磨过程的结果。软件包还允许用户分析研磨数据，并提供必要的可视化和统计分析，以达到预期的效果。用户友好的界面使用户能够输入所需的工艺参数，并监测晶圆研磨和研磨工艺的进展。