二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK #9372768 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于加工直径从200 mm到450mm的晶圆基板。该系统能够将基板加工至尽可能高的抛光,从而为前沿设备制造提供最无缺陷的表面。该单元由数控基板处理机、磨床、磨床、抛光机和金刚石浆料分配机组成。CNC处理程序在X、Y和Z方向移动基板,并提供完整的3D定位控制。该处理程序旨在保持基板的粗糙度和表面平整度，同时提供三度晶圆取向和可调手柄力。磨床是一种高扭矩旋转工具，从晶圆基板上去除高点和表面粗糙度。它配有高压换能器和PID控制资产，用于快速、精确的研磨。该拍板采用两级高压拍板模型，可快速均匀地拍打。集成压力传感器可确保均匀层的压力一致。抛光器配有一个大扭矩旋转设备，用于主动和被动运动控制。它有一个集成的PID压力控制系统，允许精确研磨和抛光。最后，金刚石浆料分配单元设计为提供均匀的金刚石浆料分布和清除沉积物。它使用专有的脉冲抽取计量机来控制泥浆随时间的释放。这样可以确保在研磨和抛光过程中在晶片上均匀沉积金刚石。总体而言，AMAT Reflexion LK是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光工具，旨在以尽可能高的抛光水平生产无缺陷表面。其数控处理装置和集成的金刚石浆料分配资产可实现精确、均匀的研磨和抛光。它坚固可靠的设计使其成为处理下一代设备的最先进的系统之一。