二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion Semes #9241951 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion Semes是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于满足半导体制造商的严格需求。Reflexion的高性能操作使其能够在晶片制造过程中产生更好的产量,并成功地满足了生产晶片变薄、研磨、抛光、晶片加工等应用的需求。Reflexion的系统组件旨在通过提供集成解决方桉来最大限度地提高效率。主要部件包括抛光器、前端装载（FEL）传输单元、转盘和可选的SEMI-flex lapper。抛光器设计为与FEL配合使用，用于自动化、精密和可重复晶片处理。它采用了专利的非接触表面传感技术，以持续保持磨料和产品表面的紧邻。这样可以减少产生的曲面力,并提高曲面均匀性。FEL允许最终用户控制过程,以确保以可重复的方式加载晶片。Reflexion还包括一个转盘,用于处理晶片的两侧,而无需将其从机器中移除。这样可以确保晶圆的平整度并提供改进的微平均匀度。最后，可选的SEMI-flex lapper允许在同一抛光循环中抛光多基片，增加吞吐量，缩短循环时间。Reflexion的设计考虑到安全和维护。它具有多项安全功能，包括在压力或温度异常时自动停止，以及液体溢出警告警报。它还具有一个自我诊断工具和一个板载服务监视器,可帮助识别任何维护问题。综上所述,AMAT Reflexion Semes是一种用途广泛且可靠的晶圆研磨、研磨和抛光设备,它提供了一系列旨在提高产量和缩短加工周期时间的功能。其集成组件提供高度的过程控制,并确保最高级别的安全和维护。