二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #293600686 待售

ID: 293600686
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
CMP System 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion Wafer Grinding, Lapping&Operishing equipment is a precision solution for grining, lapping and opering of sarge or small wafer.AMAT Reflexion专为满足晶圆加工需求而设计,提供了更高的吞吐量,降低了运营成本和更好的产量。该系统将机器人显微镜机械手的高精度、真空卡盘技术和水冷高压研磨技术结合为一个紧凑的单元。机器使用真空卡盘将晶片固定到位,确保精确的运动和优越的循环时间。机器人显微镜机械手提供精确、可重复的运动,在正常压力下可重复性为0.003mm。结合真空卡盘技术,机器人机械手精度高,保证了晶圆磨削的一致性和可重复性。APPLICED MATERIALS Reflexion工具配备水冷高压研磨技术,以最大限度地提高抛光效率。该资产包括一个将磨头和金刚石滑环均匀分布在晶圆上的溷合室,以及一个快速调整晶圆角度和方向的高速晶圆对准器。将晶片放置到位后,Reflexion模型将每分钟17,500加仑的研磨介质应用于晶片表面。这种受控的高压研磨工艺确保晶片的均匀和精确抛光。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion也可用于研磨和抛光。设备包括大量选择的抛光范围和橡胶垫为精确和可重复的性能。抛光垫的设计提供了卓越的晶片表面均匀性,可调节的压力和速度设置使系统能够在不影响质量的情况下处理各种晶片。AMAT Reflexion晶片研磨、研磨和抛光装置旨在满足最苛刻的晶片加工需求。该机器精密、可重复、高效,可提供卓越的产量和降低的运营成本。应用材料反射是小型和大型晶圆制造操作的理想选择。
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