二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9056492 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion,是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在使半导体制造商能够有效地应用MEMS加工和精细研磨来生产MEMS元件的超平坦、无损伤的表面。AMAT Reflexion配置了自动6轴机器人，挥舞着5英寸和6英寸的硬质合金研磨板、金刚石垫和泥浆托盘。自动机器人手臂在精细平衡的多轴程序上移动研磨工具,从而在多种材料中实现卓越的表面平整度和均匀的厚度。APPLICED MATERIALS Reflexion还配备了精密监控和导航（PMN）技术,使机器人能够精确测量磨削表面的高度、角度、距离和其他参数,并根据要求的规格分配适量的磨料介质。此外，一个最先进的闭环控制系统不断监控过程，以确保生产出质量最高的研磨。该设备还配备了一台视觉机器，用于扫描传入材料并评估研磨过程中的任何缺陷或缺陷。Reflexion还配备了无滤波器设计的除尘器,可实现清洁晶片处理环境,不会污染加工过的晶片。该工具还具有三轴颗粒计数器，通过测量嵌入式磨料颗粒防止污染。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion还具有触摸屏界面,可轻松控制操作、记录数据和实时监控。AMAT Reflexion使用软件程序进行计划和优化,以确保磨削工具的平稳运行和高效使用。该资产很容易与生产线中的其他系统集成在一起，从而简化了流程，并保护下游设备免受磨损或磨料污染。此外,APPLIED MATERIALS Reflexion可以处理MEMS制造中使用的多种常见材料,并支持各种抛光速度,每秒高达0.5微米。Reflexion专为高性能和可靠性而设计,使半导体制造商能够为MEMS应用生产具有完美曲面的元件。这是一个先进的研磨和抛光模型，非常适合在半导体工业中使用。