二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9182257 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Reflexion Wafer Grinding, Lapping&Opilishing Equipment是一种革命性的半导体工业制造技术。这种多用途系统提供了一种高效、经济高效的方法，可以在一个步骤中生产复杂、高精度的晶片。它将研磨和抛光操作结合到单个集成的机器中,提供多功能性、可重复性和可扩展性。AMAT Reflexion单元包括精密机械部件和一整套先进的自动化和过程控制软件。它以坚固的框架建造，利用两个晶圆研磨轮生产精确的晶圆。磨削电动机由电子控制，并从精密仪表接收位置反馈，精密仪表还监测晶片的真空保持力。APPLICED MATERIALS Reflexion machine provides efficient wafer lapping and edge profiling to product precise wafer ge它利用自动研磨模块对研磨操作进行自动化控制和监控。对主轴进行编程，以在工艺的不同阶段调整抛光垫的负载和速度。精确的气压输送工具将加压空气输送到垫上，从而产生均匀抛光的表面。Reflexion还结合了精确的晶圆抛光。这是使用专利磨料垫实现的，这些磨料垫的设计与晶圆轮廓和地形完全匹配。抛光模组提供在抛光过程中自动控制垫与晶圆接触力。一个精确的抛光溶液被送到抛光垫和内置的清洁资产最小化污染的可能性。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion模型提供了完整的在线鉴定,并具有可追踪的过程记录。这为用户提供了准确和可重复的过程结果以及单个晶圆几何形状、表面粗糙度、平坦度和其他关键过程参数的记录。这允许验证流程产量、停机时间、可重复性和其他重要流程参数。AMAT Reflexion晶圆研磨、研磨及抛光设备是半导体行业的卓越创新解决方桉。它提供了一种高效、经济高效的方法,可在一个步骤中生产复杂、高精度的晶片,提供无与伦比的多功能性、可重复性和可扩展性。