二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9235057 待售
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ID: 9235057
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Scanning Electron Microscope (SEM), 12"
Process: CMP
2004 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Reflexion Wafer Grinding, Lapping&Opilishing equipment is a high-precision system for ascrement applications.利用化学机械抛光(CMP)设计了AMAT Reflexion单元,用于晶圆的亚纳米平坦度和表面粗糙度。它能够处理晶片的正面和背面,并将这两个过程合并为一个。APPLICED MATERIALS Reflexion machine includes a patentified waf carrier tool, a optimized suspension asset, and a multi-he它还采用闭环机械抛光工艺,利用最新的抛光技术快速准确地校正偏离所需晶圆轮廓的任何偏差。该模型还被设计为产生统一一致的精加工,允许高度的精确度和可重复性。Reflexion设备能够处理种类繁多的基材,包括硅、砷化氙和氮化氙,可以处理3"到18"不等的晶圆尺寸。该系统还提供各种高级流程控制选项,以确保快速高效地实现所需的参数。AMAT/APPLICED MATERIALS Reflexion单元除了具有晶圆研磨、研磨、抛光等能力外,还包括基于视觉的缺陷检测,使机器能够检测和分类表面缺陷。这允许根据用户定义的参数自动做出传递/失败决策。AMAT Reflexion工具适用于直接写入和凹凸打印光刻以及应变层超晶格。该资产还提供了多种工艺选项,允许用户自定义表面光洁度,以更好地适应特定工艺要求。这包括控制研磨和研磨速率,选择表面特征进行抛光,以及选择特定材料进行研磨。APPLICED MATERIALS Reflexion模型是要求苛刻、高精度的应用程序的理想工具,它提供了一整套功能以最大限度地提高准确性和效率。
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