二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9235208 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion
已售出
ID: 9235208
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Scanning Electron Microscope (SEM), 12" Process: CMP 2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion晶片研磨、研磨和抛光设备是一种通用、综合的工具,用于生产用于半导体和光电行业的高质量的扁平和厚晶片。它有一个机械系统,设计来研磨,膝盖和抛光高达6英寸/150毫米直径的基板。该装置设计用于在软基板和硬基板上进行各种步骤,从粗磨到最好的抛光。AMAT Reflexion采用优化的机械设计,以最短的设置时间和精力确保高性能。整个机器包括一个机器人搬运工具装载基板,一个高精度的数控研磨/研磨单元,和一个先进的抛光资产。机器人操作模型能够以可重复的方式将基板加载到CNC控制的研磨/研磨单元上,精度为+/-0.02mm。CNC控制的研磨/研磨装置能够在刚性到光学软的基板上获得最高质量的表面。配备高精度直线导轨、小型运动平台、电动主轴、安全安全套。应用材料反射晶片研磨、研磨及抛光设备还采用了先进的抛光系统.该单元提供过程控制和自动化的高度精确度。它还配备了一个先进的软件包,允许方便的数据访问和存储,以及配方自动化和调度程序编程。反射机是一种用途极为广泛、可靠的晶圆制造工具。它具有多模式处理功能,可配置用于任何类型的研磨和抛光应用。这允许最大程度的灵活性,并允许更短的周期时间。该工具还通过高度的过程控制提供了出色的重复性、准确性和性能。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion能够实现最大的平整度和表面粗糙度,并具有最佳的可重复性。资产也是人性化的,极易操作。AMAT Reflexion模型是实现高级应用的高质量基板的绝佳工具。
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