二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9248127 待售
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ID: 9248127
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
CMP System, 12"
Model no: CMP 3600
(4) SMIF Systems
KENSINGTON Handler
JDS UNIPHASE Argon laser, 75 mW
Chuck edgegrip
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion是一种自动晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在满足IC制造商的特殊需求。这种多轴系统能够以180°入射角扫描基板,提供均匀的抛光结果、可重复的方向和一致的光学特性。这种灵活性是其效率的关键;AMAT Reflexion可以处理多种不同几何形状和密度的晶片。这个单元可以容纳直径最大8英寸的基板,最大倾斜度为2.5度。APPLICED MATERIALS Reflexion的设计旨在缩短时间,改进对手工抛光工艺的质量控制。Reflexion利用一台精密的非接触式测量机器来确保获得一致的精确结果。经过研磨和抛光,晶片采用了配备的非接触测量工具。该资产通过使用亚微米精度测量其地形来验证表面光洁度的质量。测量模型产生曲面的3D模型,以确保结果符合预期的规格。这样可以进行准确的风险评估,使用户能够为更复杂的任务正确分配资源,从而消除不必要的人工成本。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion具有高性能的磨头,能够保持恒定的切削速率和绕过高位错密度区域。还采用了革命性的湿加工臂,以便对基材进行全面的化学处理。这有助于防止由于机械相互作用增加而造成的蚀刻和刮擦。集成的冷水机有助于保持基板表面的最佳温度水平。在安全性方面,AMAT Reflexion设备有内置激光束安全传感器。当任何异物进入其范围并自动关闭系统时,将触发此传感器。APPLIED MATERIALS Reflexion单元还配备了直观的用户界面和全面的控制库,以实现准确的校准。总之,Reflexion是一种自动晶圆研磨、研磨和抛光机,旨在提供精确、可重复的结果,同时允许用户有效地实现其生产目标。其精密的测量工具有助于减少操作错误并创建可靠和耐用的组件。凭借其广泛的安全功能和直观的用户界面,AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion资产为用户提供了创建具有精确规格的高质量组件所需的通用功能。
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