二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9282204 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion
已售出
ID: 9282204
晶圆大小: 12"
Dielectric CMP system, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,专门设计用于加工离轴光基板、集成光学材料和大面积基板。该系统旨在为表面纹理从亚微米粗糙度到高度抛光的表面提供较高的表面光洁度质量和较高的材料去除率。AMAT Reflexion单元由磨头、抛光垫和表面补偿机组成,共同提供完美的表面饰面。磨头是一种具有受控主轴转速和压力的旋转主轴机,用来磨损晶片。抛光垫由一种高度研磨的材料制成,涂抹在晶圆上,形成光滑而均匀的光洁度。表面补偿工具是一种专利技术,在晶片的三个不同点使用三个压力敏感器件,为底层晶片提供高度精确和一致的压力,以获得最佳的表面光洁度和均匀性。APPLICED MATERIALS Reflexion资产设计用于精密加工和更精细的精加工应用。它可用于广泛的应用,从光学应用的超光滑薄膜到攻击性材料去除的粗磨。机器的操作参数是计算机控制的,使其能够以极好的重复性和极小的操作员控制来操作。该模型也是完全自动化的,允许无人值守操作,允许全天候操作。磨头配备了先进的传感器,用于检测和调节主轴的速度和压力,从而产生优异的表面光洁度质量。Reflexion是一种优越的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在优化表面光洁度质量和效率。该装置具有计算机控制、自动化操作和专利表面补偿系统等特点,适用于许多光学应用,提供高的表面光洁度和准确的材料去除率。
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