二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9294262 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion
ID: 9294262
晶圆大小: 12"
Dielectric CMP system, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion是一种强大的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在满足精密半导体器件制造最苛刻的要求。该系统提供精确、自平整的对齐方式,以精确的表面地形的晶圆,并提供卓越的表面质量的加工晶圆表面。它有一个高速晶片旋转和倾斜机构,配备一个坚固的电机驱动单元,使精确和均匀对准所需的空间位置的晶片。该机由一个开底主轴壳体、一个三轴卡盘级、一个平板和一个集成高压冷却剂喷嘴组成,以便在抛光过程中高效去除芯片。该刀具还具有光学感应研磨力水平,通过精确监测和控制研磨力来确保最佳性能。磨削速度也是可调的,从而提供了最佳的速度,以更好的表面完整性。压板运动是高度可调的,资产允许晶片在不同的角度和位置研磨。此外,该模型还配备了独特的晶片保持装置,可确保晶片位置正确,并确保在研磨过程中达到完整的晶片覆盖范围。设备的高功率、高频超声研磨操作提供了出色的材料去除速率,从而使表面更好的完整性和质量。它还具有基于视觉的综合过程控制功能,可以准确地控制和监测整个过程,并确保取得最佳结果。AMAT Reflexion设计用于晶圆研磨、研磨和抛光等多种应用领域。此外,APPLIED MATERIALS Reflexion系统经过了一系列改进和改进,以提高其能力,包括使用高速抛光头和机器人晶圆处理单元。这台机器具有全面的工艺能力,用于各种生产场景,从小批量生产到大批量生产不等。该工具还提供各种安全措施,如安全百叶窗和防护,以确保资产安全使用。总体而言,Reflexion模型是一种强大的晶圆研磨、研磨、抛光设备,能够轻松满足现代半导体器件制造工艺的需求。它提供精确、自平对准、高速晶圆旋转和倾斜机构,以及高精度、高频的超声波研磨操作。此外,该机还具有集成的基于视觉的过程控制和全面的过程能力。
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