二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9375642 待售

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ID: 9375642
晶圆大小: 12"
CMP System, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备,为半导体、MEMS等先进材料应用提供自动化的精密处理。它专为使用最新技术而设计,提供最高水平的表面质量和平整度。AMAT Reflexion将动力、灵活性和可靠性与各种手动和自动化的过程控制功能相结合。该系统利用一系列工艺参数,准确控制各种基板的表面地形、定量表面粗糙度和平坦度。利用板载计算能力,该单元可以实时分析和控制过程,以提供所需的结果。应用材料Reflexion的灵活设计的加工站可以方便地装载、卸载和维护基材和晶片。它配备了集成的机器人晶片装载机,具有视觉能力,以确保正确放置每个晶片进行处理。该工具还包括动力控制的研磨、研磨和抛光系统,能够实现高水平的表面平整度和精加工。无齿轮磨削资产适应过程中不断变化的条件,以确保高质量的结果,而研磨模型运行在线和离线,以确保准确的过程控制。智能、进化的自适应软件套件优化了抛光工艺,提供了无与伦比的表面精度水平。Reflexion还提供全面的晶圆测量功能,并提供大量标准和专有测量。设备的先进测量能力提供了无与伦比的精度和可重复性,每个晶圆最多可测量32个参数。总体而言,AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion是精密研磨、研磨和抛光应用的理想解决方桉。该系统具有易于使用的功能和高级流程控制功能,可简化复杂的流程、提高精度并提供卓越的性能。
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