二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9390825 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion是为各种半导体晶圆加工应用而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它主要用于Si、GaAs或Ge等半导体晶片的背面研磨和研磨。该系统由模块化平台组成，将磨头、研磨板、晶片卡盘和晶片载体耦合在一起。AMAT Reflexion单元为开发领先设备的所有制造步骤提供了最大的灵活性。APPLICED MATERIALS Reflexion的磨头设计用于加工大小大小的晶圆,平均去除率令人印象深刻。旋转磨头封装在密闭的隔间中，适合广泛的洁净室操作。其搅拌器式设计保证了研磨过程中所有磨料浆料的过滤，保证了更高质量的效果。磨头可以配置一个或两个磨石，根据应用程序可以编制索引。Reflexion的研磨板设计为提供最佳表面光洁度。它采用高精度轴运动机构，能够主动滚筒运动，从而在晶圆定位和地形测量中实现亚毫米精度。该板由高强度不锈钢制成，有多种尺寸可供选择。此外，研磨板是可调的，以适应大范围的直径和厚度。AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion机器的晶片卡盘和晶片载体设计为在研磨和研磨过程中快速、精确地固定和引导晶片。托架用于将晶片固定在磨头上,而卡盘则用于研磨。这两个部件都附着在磨头上，便于精确定位。卡盘和托架可以通过用户界面进行控制，使用单个旋钮调节研磨或研磨过程的压力和速度。AMAT Reflexion配备了各种各样的安全和监控装置。其中包括在不安全的情况下停止机器的电源互锁,以及可用于监视晶圆厚度和状况的光学摄像头。此外,该工具还具有多种诊断功能,例如诊断程序,用于检测操作人员并提醒其研磨或研磨速度不正确。此外，机载诊断使用户能够快速准确地重新校准资产，以达到预期的效果。APPLICED MATERIALS Reflexion是一种最先进的晶圆研磨、研磨和抛光模型,为设备处理提供最大的灵活性和精度。其强大的磨头和精确的研磨板使操作员能够从任何晶圆加工应用中获得最高质量的结果。其最先进的安全、监控和诊断功能确保安全有效地执行所有操作。