二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9390826 待售
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ID: 9390826
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Dielectric CMP system, 12"
(3) Load ports
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 200 V, 3 Phase
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种先进的工具,旨在在受控环境中提供卓越的精度、重复性和吞吐量。它被用于大体积晶圆抛光应用中,专门用于创造更高水平的晶圆平坦度。该系统独特的设计结合了先进的计算机控制机芯和专利抛光工艺,以确保卓越的精度。AMAT Reflexion单元为用户提供了比以往任何时候都更好的抛光工艺控制和定制。它包括了一系列的研磨和抛光站,每一个站都能够执行多个功能。研磨站采用精密金刚石轮来制备晶片表面,而抛光站则利用独特的专利抛光工艺来实现高水平的表面平整度。用户可以定制机器以满足他们的特定要求,从晶圆的大小到抛光过程中的步骤数。此外,该工具还具有自动加载/卸载资产,可消除手动操作并提高一致性。此外,整个模型被集成到闭环操作中,以确保以最小的设置和移除时间跟踪和执行抛光过程。APPLIED MATERIALS Reflexion设备配备了先进的监控和诊断,使用户可以持续监控整个过程。这样可以确保晶片以尽可能高的精度和可重复性进行抛光。此外,对抛光工艺的实时分析使系统能够在影响质量之前检测和纠正任何偏差。最后,该单元在晶片转移作进一步处理之前进行全面的质量保证测试。最后,Reflexion机是一种用于高容量晶圆抛光应用的先进工具。它具有强大的功能组合,使用户能够自定义抛光过程、提高准确性并监控整个过程。该工具非常适合那些寻求卓越性能、准确性和吞吐量的用户。
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