二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9394792 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion系列晶圆研磨、研磨和抛光系统的设计使半导体晶圆、晶体和其他基材能够快速、高精度地研磨、研磨和抛光。在使用中，设备能够提供比+/-1/10微米更好的均匀性。该系统非常适合Si、Ge、熔融二氧化硅、石英、GaAs、InP等多种半导体材料等基材。AMAT Reflexion单元设计有两个阶段的过程，首先是研磨阶段，然后是圈速和抛光阶段。第一级采用安装在高速主轴上的金刚石磨轮。金刚石轮以高达每分钟5,000转的速度旋转，降低基板的初始厚度，并将基板磨削成所需的形状和尺寸。第二个阶段包括研磨和抛光阶段，基板被一个能够以高达150,000 rpm的速度工作的金刚石研磨盘进一步减少。研磨盘能够提供1 nm RMS或更高的超高表面光洁度。最后的抛光阶段采用微垫和浆料进行，使表面抛光至完美。APPLIED MATERIALS Reflexion还可以配置两个研磨磁盘,从而提高吞吐量和准确性。Reflexion还包括其他一些使其易于使用和维护的功能。它配备了坚固的控制机器，确保所有组件正确对齐，并且该工具提供最佳性能。该资产还配备了内置的安全模式，其中包括紧急电源按钮。最后,AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion包括内置的减振设备,可确保整个系统与环境振动隔离。AMAT Reflexion晶片研磨、研磨和抛光装置为基材研磨、膝部和抛光提供了可靠、高精度的平台。该机具有两级工艺、高速金刚石砂轮和研磨盘以及内置的安全和减振系统，能够提供均匀性和高表面光洁度。