二手 APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #151915 待售
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ID: 151915
CMP system
Specifications:
Wafer handling robot (integration capable)
(1) 20" platen (ISRM capable)
(4) Load cups
(1) Pad conditioner
(3) Pad conditioner cleaners
(3) Inter platen cleaners
(3) Slurry delivery systems (MIPS)
VME controller Pentium III, 128 SRAM
De-installed 2009
2000 vintage.
应用材料Mirra Mesa是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。用户友好的设计是完全自动化的高速、高产生产。系统的组成部分被设计为以最小的维护提供最大的效率。Mirra Mesa由机器人晶片处理站、晶圆研磨站、晶圆研磨站和晶圆抛光站组成。机器人在研磨/研磨/抛光站之间快速加载、卸载和传输晶片。磨床采用金刚石磨轮安装在密封的精密控制主轴上,使晶片成形。研磨站设有多轴龙门,用于精密表面研磨。抛光站提供三轴精密驱动的精加工和表面粗糙度控制。整个单元是针对包括硅、绝缘子上硅等材料在内的各种晶圆材料而设计的。集成控制机具高速数据采集和控制功能,便于编程和数据存储。此外,APPLICED MATERIALS Mirra Mesa非常精确,在所有三个运动轴中都有刀具中心,并且在所有三个轴中均具有出色的无接触轴承技术。该工具提供卓越的空气过滤,所有研磨,研磨,抛光微粒从工作区域耗尽,确保操作人员和设备的安全。自动化的过程,用户友好的编程和提高安全性,使操作员变得更加高效和提高产量。Mirra Mesa资产也是可扩展的,具有两轴和三轴配置。该模型能够精确研磨、研磨和抛光各种晶圆材料,比传统方法时间更短,产量更好。应用材料Mirra Mesa是一种最先进的设备,旨在降低晶圆研磨、研磨和抛光的成本和复杂性。
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