二手 BUEHLER 10-1040-460 #9276732 待售

BUEHLER 10-1040-460是为高精度操作而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统能够实现晶圆厚度、平整度、平行性和其他几何特征的严格公差。10-1040-460由于其机械和研磨执行器相结合,在整个过程中施加一致的载荷和研磨压力,因此提供了高精度的平整控制和一致的表面质量。该装置的设计支持各种晶片，厚度从0.500mm到1.500mm不等。BUEHLER 10-1040-460包含几个组件以达到精细的效果。精密主轴将晶片固定在真空垫上，在整个过程中保持其稳定性。这是一种具有倾斜能力的静水轴承，允许可变角度和方向的研磨运动。采用三轴伺服电动机台来控制晶片的X-Y-Z运动，为研磨过程精确定位。一个高速研磨头与羊毛抛光垫跟随X-Y-Z表的运动。10-1040-460包括各种部件，以监测和防止磨削压力过大。一个自由浮动的压力传感器，例如，持续监测研磨头对晶片的压力。这样可以更严格地控制所需的表面光洁度,并防止过度的研磨压力。此外，光电位移传感器和液晶显示器还提供了晶圆位置和表面轮廓的精确监控。使用先进的触摸屏操作员界面可以方便和高度精确的操作。通过界面，操作员可以轻松定义压力和速度等设置，并监控研磨、研磨、抛光工艺的进展。此操作员界面简化了BUEHLER 10-1040-460的操作和控制,确保了结果的可靠性和准确性。总而言之，10-1040-460是一款先进的晶圆研磨、研磨抛光机，配有元件，保证晶圆的精确操作和紧密公差。从精密主轴、伺服电动机台、研磨头、压力传感器、光电位移传感器到先进的操作员界面，这一工具的设计以最小的操作员工作量提供可靠准确的结果。