二手 BUEHLER 67-1635-160 #9389295 待售

ID: 9389295
Polisher.
BUEHLER 67-1635-160是为半导体晶片的半自动样品制备而设计的研磨、研磨和抛光设备。它能够为各种工程材料,如硅和砷化氙提供快速变化的压力和速度。该系统采用了最先进的微处理器技术,提供了最佳的效率和良好的控制。该单元由湿加工站、研磨站、抛光站组成。它提供了一个可容纳4英寸或6英寸晶圆的快速更换晶片盒式磁带支架,以及一个自动调整工作高度以实现最佳工艺控制的工作高度计算器。湿式站为单室设计,有两个整体储罐,一个用于清洁,另一个用于冲洗。它提供精确、高效的晶圆清洗,结果一致.研磨站有一个快速交换位置表,提供晶圆表面的快速和精确的平整。将研磨化合物应用于晶片表面,然后将研磨头设置为所需的高度。头部以预设速度振荡,以实现均匀覆盖.提供可调节的速度和压力设置的能力为所需的结果提供了精确的微调。抛光站有两个处理阶段。第一种是利用浆液去除研磨过程中残留的划痕和残留物的侵蚀性抛光剂。如果需要评估半导体材料的光致发光或电致发光,这一过程尤为重要。第二阶段是轻柔的抛光,去掉细小的表面颗粒,留下磨砂光洁度的材料。该机器基于静态平衡、低振动的马达和离合器,能够以最小的热量对抛光过程进行精确控制。67-1635-160是一款功能强大、可靠的半自动工具,对研磨、研磨和抛光工艺提供了非凡的控制。它非常适合各种需要精确、均匀表面光洁度的半导体材料。资产提供了快速、方便的操作,进一步突出了其对制造业的价值。
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