二手 BUEHLER 69-1100 #9148818 待售

BUEHLER 69-1100是一种完整的晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计目的是减少处理高容量和/或高精度晶圆所需的时间和工作量。该系统配备了定制设计的可调头架、修整功能和双前/后工作台。这个功能强大且用途广泛的晶片处理单元提供了直径可达8英寸的晶片的快速、一致且可重复、研磨、抛光、研磨和精加工。该机由3 HP、2速驱动和三台电机驱动，用于变速控制。为优化磨削压力和抛光速率,可调敷料特性.内部电源也是可调的，允许用户在处理单个晶片或一批晶片的过程中对参数进行有利的更改。可调光表允许精确对准机器人晶圆进纸器。正向/反向工作头可适应晶片磨削和研磨的前向旋转运动,以及抛光和细粒精加工的反向运动。晶圆磨轮可调节粗细磨削，晶圆抛光垫可调节各种抛光工艺。可以针对各种晶圆直径调整主轴箱，内部变量可以针对特定的工艺和批量大小进行调整。有了这些特性的结合，69-1100就能快速实现更大体积和高精度晶圆处理的一致结果。BUEHLER 69-1100采用不锈钢外壳结构，旨在最大限度地减少噪音和振动。该工具还配备了若干安全功能，以尽量减少磨床和抛光机处理不当的风险，保护工人和工艺。该资产可与冷却器、真空晶片处理系统、机器人晶片进纸器以及各种工艺参数监控设备集成。69-1100晶圆研磨、研磨和抛光模型是高容量和/或高精度晶圆加工的完美解决方桉。这种完整的设备易于安装和操作,能够快速、一致地达到预期的效果,并且是为工人的安全和可靠性而设计的。该系统使用强大的电动机和可调变量来最大程度地控制整个晶圆处理过程。