二手 BUEHLER Ecomet 3 #293808563 待售

BUEHLER Ecomet 3是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备，旨在为要求苛刻的应用提供最大的吞吐量和质量。这个系统可以快速处理各种半导体、mems和光电晶片。BUEHLER ECOMET-3包括一个预加载的磨料旋转木马、一个主轴、三个加工室和一个多区域油烟罩，以确保有效、高效和安全的工艺。Ecomet 3上预装的磨料旋转木马含有磨料化合物和研磨、研磨、抛光的化合物。这种自动预加载确保磨料在整个晶片过程中可用。ECOMET-3内的主轴与磨料轮的表面配合使用,通过使用形状、旋转和压力来实现受控磨削,从而形成更高效的切割动作。此外,主轴还包含多个回火机构,以确保磨料轮的表面可随时使用。BUEHLER Ecomet 3的三个工艺室可以单独配置，以匹配晶圆的大小和形状以及特定的研磨和抛光要求。例如，下室用于研磨，上室和中室分别用于研磨和抛光。这台多功能机器可以支撑多种材料，包括石英、蓝宝石、SiC、多晶金刚石等晶片基材。BUEHLER ECOMET-3上的多区烟雾罩确保了有效、高效和安全的过程。它捕获在研磨和抛光过程中排放的有害物质，如金属粉尘和金属氧化物。此外,Ecomet 3上的ESC智能控制体系结构提供实时状态和过程监控,以帮助优化生产率,同时提高晶圆产量和质量。总之，ECOMET-3是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光装置，为要求苛刻的应用提供吞吐量、质量和安全性。这台机器包括一个自动预加载的磨料旋转木马、一个有效的主轴、三个加工室和一个多区油烟罩以捕获危险材料。基于BUEHLER Ecomet 3的ESC智能控制体系结构为优化生产效率和质量提供了过程控制和监控。