二手 BUEHLER Ecomet 3 #9352405 待售

BUEHLER Ecomet 3是专门为加工模具和晶圆材料而设计的自动化晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统具有三个不同级别的精加工工作站：粗磨、研磨研磨和金刚石抛光。适用于缺陷评估、晶体结构分析、平面生成等多种应用。BUEHLER ECOMET-3设计为一次最多可容纳八个晶片，并配有自动载波将其索引到研磨站。它的两个独立的磨轮可以以不同的速度运行，最高可达1000 rpm。磨削循环利用单个磨盘，或两个磨盘来得到特定的摩擦系数。其研磨站设有专用行星驱动器，沿表面均匀、平滑移动，有助于消除表面缺陷，提高光洁度质量。该抛光站具有应用可变金刚石浆料施用率和调浆率的高精度效果。CAMS Profile软件包支持硬件,该软件包允许用户快速轻松地设置自定义的材料类型和处理参数。设备还配备了自动温度反馈回路，确保工件进入工作站时保持在指定温度。此外，Ecomet 3的控制机器提供按需数据记录和趋势。ECOMET-3已获得CE认证,并附带各种选项和服务程序,包括自动清洗、晶圆托架装载和一般维护。它具有容纳各种材料和在不同环境条件下工作的多功能性。总之，BUEHLER Ecomet 3为晶片、模具和其他基材的加工提供了一个经济、精确控制和自动化的解决方桉。