二手 BUEHLER Ecomet 3000 #293759596 待售

BUEHLER Ecomet 3000是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，旨在满足高通量、高质量半导体制造的需求。该系统旨在实现小于1nm RMS粗糙度的一致表面光洁度,并经过校准以符合半导体制造商设定的标准。Ecomet 3000具有内置的各种功能,可用于磨削、研磨和抛光直径不超过8英寸的晶片。它拥有10倍放大显微镜的台式顶台、金刚石钢磨轮，以及自动化的光学测量和虚拟计量单元。该机器采用金刚石和钢制磨轮的组合来磨削晶片表面并将其旋转至所需的表面。重复研磨和研磨过程,直到达到所需的表面光洁度。一旦达到了所需的表面光洁度，工具便使用金刚石抛光垫和浆料的组合，在晶圆表面产生超光滑的光洁度。该资产有一系列的选项，允许用户根据其特定工艺的具体需要定制晶圆研磨、研磨和抛光工艺。这些选项包括各种轮子、金刚石和抛光垫类型和尺寸,以便根据应用产生不同类型的饰面。该模型还能够分析表面图像,以确定实现所需表面光洁度的最佳研磨和抛光设置。BUEHLER Ecomet 3000还包括一个最先进的软件包,可用于实时监视和控制过程,确保获得最佳效果。总体而言，Ecomet 3000是晶圆研磨、研磨和抛光的通用、可靠和经济高效的解决方桉。它旨在满足高吞吐量和高质量半导体制造的需求,能够实现不到1nm RMS的表面光洁度。