二手 BUEHLER ECOMET 4 #9294141 待售

BUEHLER ECOMET 4是专门为集成电路（IC）电路中使用的半导体及相关材料而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。这种多功能系统非常适合在各种材料中生产光滑、精密的接地和研磨的表面，如蓝宝石、氮化铝、的、金刚石和硅。该单元允许在一个设置中处理厚度和大小从200毫米到12英寸（300毫米）不等的晶片,从而无需在使用不同晶片尺寸时手动更换板材。机器配备了两个相互独立移动的压板，可以精确控制研磨、研磨和抛光过程。Platen Rotation motor and tooling arbor committed of a platen rotation motor and tooling arbor subsequest level平板也针对高速研磨、研磨、抛光进行了优化，最大转速为600 RPM。除了精密研磨和研磨外，ECOMET 4工具还提供了几种先进的抛光功能，包括旋转、轨道和线性抛光。所有抛光工艺均设计为可产生高达2nm的抛光均匀度。该资产还配备了高精度线性进料，提供对样品定位的精确控制。为方便起见，BUEHLER ECOMET 4晶圆研磨、研磨、抛光模型包括了广泛的可互换板材、工装乔木、抛光垫和配件。该设备还包括几个用户友好的功能，如直观的图形用户界面、精密磨床和远程数据记录。这使操作员能够快速轻松地监视、编程和查看流程参数。ECOMET 4系统是一种可靠、通用的晶圆研磨、研磨、抛光装置，是要求苛刻、体积大的材料加工应用的理想选择。