二手 BUEHLER ECOMET III #9033156 待售

BUEHLER ECOMET III是专门设计用于半导体晶圆生产的自动化晶圆研磨、研磨和抛光设备。这个先进的系统能够研磨、研磨和抛光多种不同的半导体材料，比如硅、GaAs、蓝宝石、石英等等。ECOMET III利用精密的行星磨料抛光板在晶片表面上提供卓越的光洁度，在晶片厚度和尺寸上提供卓越的精度。BUEHLER ECOMET III由精确的外部西门子伺服电机提供动力，在研磨和抛光的同时提供精确的速度和压力控制。这确保了每个加工晶片的高质量表面光洁度。ECOMET III配备了一个独特的、可调的压力电池，可以根据每个晶片的定制光洁度进行调整。BUEHLER ECOMET III还包含一个温度控制卡盘，确保最佳研磨和抛光效果。ECOMET III的设计目的是提供一致的吞吐量和质量结果,同时尽量减少操作员的注意。这是通过内置功能实现的,例如自动索引以实现可重复的晶片加载,以及能够保存许多流程配方设置。BUEHLER ECOMET III还具有两种不同的磨轮（金刚石或非金刚石磨料）的选择，以适应具体的应用要求。ECOMET III还为方便维护和维修而设计。该单元包括一个主轴维修机，使行星磨料板的快速和易于维护。BUEHLER ECOMET III还配备了自动研磨介质补充工具，有助于确保资产始终为晶圆产生均匀的光洁度。总体而言，ECOMET III是一种高度可靠且用途广泛的晶圆研磨、研磨和抛光模型，为提高半导体工业的生产率提供了卓越的精确度和精确度。设备使用方便，占地面积小，可根据特定应用需求轻松定制。